衡陞科技於2006年7月在台北成立. 其成立目的在於提供台灣以及中國奈米等級的量測概念以及方法.。 當時衡陞科技提供65nm以下的分析數據以及技術支援給半導體以及學術界.。 但根據摩爾定律以及半導體發展藍圖，當製程精進至65nm以下，以目前的方法去做數據的量測和分析會變得更為困難。 因此，衡陞科技於2008年開始投資奈米探針的研究和製造事業，並於2010年，衡陞科技成功開始提供台灣以及中國50nm探針。
